En vakuumpumpe refererer til en enhed eller udstyr, der bruger en mekanisk, fysisk, kemisk eller fysisk-kemisk metode til at evakuere en pumpet beholder for at opnå et vakuum. Generelt er en vakuumpumpe en enhed, der bruger forskellige metoder til at forbedre, generere og vedligeholde et vakuum i et lukket rum.
Ifølge arbejdsprincippet for vakuumpumper kan vakuumpumper dybest set opdeles i to typer, nemlig gasindfangningspumper og gasoverførselspumper. Det er meget udbredt i metallurgi, kemisk industri, fødevarer, elektronisk belægning og andre industrier.
Vakuumpumpens to rotorer er relativt synkroniserede af et par højpræcisionsgear. Drivakslen er forbundet til motoren gennem en kobling. Der er to hovedtyper af drivstrukturarrangementer: den ene er, at motoren og gearet er placeret på samme side af rotoren som vist på figuren. Den drevne rotor drives direkte af gearet i motorenden. På denne måde er vridningsdeformationen af den drivende rotoraksel lille, og mellemrummet mellem de to rotorer vil ikke ændre sig på grund af den store vridningsdeformation af drivakslen, så mellemrummet mellem rotorerne kører. Processen er jævn. De største ulemper ved denne transmissionsmetode er: a. Der er tre lejer på drivakslen, hvilket øger pumpens behandlings- og monteringsbesvær, og demontering og justering af gearet er ubelejligt; b. Den overordnede struktur er ujævn, og pumpens tyngdepunkt er forspændt til motor- og gearkassesiden.
(1) Der er en stor pumpehastighed i et bredt trykområde;
(2) Rotoren har god geometrisk symmetri, så vibrationen er lille, og driften er stabil. Der er et mellemrum mellem rotorerne og mellem rotoren og huset. Der kræves ingen smøring, og friktionstabet er lille. Kørekraften kan reduceres kraftigt, så der kan opnås en højere hastighed.
(3) Det er ikke nødvendigt at forsegle og smøre med olie i pumpehulrummet, hvilket kan reducere forureningen af vakuumsystemet med oliedamp;
(4) Der er ingen kompression i pumpehulrummet, og der er ingen udstødningsventil. Enkel og kompakt struktur, ufølsom over for støv og vanddamp i den pumpede gas;
(5) Kompressionen er relativt lav, og effekten af at pumpe brintgas er dårlig;
(6) Rotorens overflade er en mere kompleks buet cylindrisk overflade, som er svær at behandle og inspicere.